刻蝕機-半導體刻蝕機全自動晶圓刻蝕機福建廈門濕法刻蝕耐強酸堿

 刻蝕槽去膠設備：

可清洗晶片規(guī)格：6吋片。

晶片材質(zhì)：PI 等

液位監(jiān)測: 多點監(jiān)測。

設備具有報警、過載保護及漏電斷路保護功能。

設備配置：

1、刻蝕槽，帶鼓泡 3個

3、常溫 DI QDR 槽 2個

1、刻蝕槽設備框架及外包板

●SUS304框架；

●進口鹽白PP外包板；

●臺面板網(wǎng)孔板設計，可單獨拆裝；

●其它材料：前門板為透明PVC，前門采用左右拉門；

●水平調(diào)整：通過地腳調(diào)整設備水平；

●設備移動：設備裝有腳輪以備設備移動之用，機器內(nèi)部上方有防酸日光燈；

●主體設備外形尺寸：約 2440×1460×2200mm （可定制）

●設備操作面高度：約1000mm。

2、 POS1、POS3、POS5、酸洗槽

●槽體材質(zhì)：進口PVDF，單槽結構，防漏槽材質(zhì)：PP；

●上下慢提拉機構：

●排氣：共用排氣管路，材料為PP，設防腐排氣風機，配置連接法蘭及調(diào)節(jié)閥門，尺寸為200A，接口在設備的上部；

●排液：分兩路，一般排放手動；單獨排放，自動，氣動閥

刻蝕槽設備電氣控制說明

6.1 設備控制

●電氣主控制采用臺達 PLC；

●觸摸屏采用威綸10吋觸摸屏，各個動作有單獨觸摸屏操作界面。

6.2 數(shù)據(jù)輸入輸出以及范圍

●當輸入一個數(shù)據(jù)會引起矛盾時，該數(shù)據(jù)應該設定為不能寫入觸摸屏；

●可設定的條件盡量詳盡的寫入觸摸屏，如清洗時間、藥液更換周期、清洗模式等。

6.3 報警及提醒

●蜂鳴器報警表示由于一些非常規(guī)情況發(fā)生要求停止操作；

●非常規(guī)情況發(fā)生后其內(nèi)容及需要檢查的科目顯示在觸摸屏上；

●具備ERROR及ALARM信息清除功能；

6.4 清洗條件及清洗時間

●清洗時間：0~9999sec可設定

、設備的安全使用信息

★確定整臺設備處于安全狀態(tài)且各周邊配件都接好并能產(chǎn)生功效時，確信所有人員均處于安全位置才可開始運行設備。

★設備運行時切勿打開蓋子或觸摸正在運轉(zhuǎn)中的機器部件，不得將手或工具伸入設備內(nèi)部。

★不得拆下或忽視設備安全保護裝置，并應該每天對這些安全設施（如“緊急停止”按鈕、 門板光電感應開關等）進行檢查。

★操作機器時，切不可靠近轉(zhuǎn)動部件的工作范圍，該范圍內(nèi)的人為或物體干涉，都會影響設備的生產(chǎn)流程。操作時應穿戴具有防護功能的服飾，不得穿戴松散衣物。

★進行設備清理、檢查和維護前需先切斷電源供給部分。否則，接觸傳感器或按鈕時可能引發(fā)意想不到的后果。

★打開電源開關后，不得對電控柜內(nèi)部進行操作，以防觸電。

★不得將電子或電氣元件與水或濕氣相接觸，否則會使該元件損壞，或有發(fā)生電擊的危險。

★不可將酸或堿滴到設備的電氣控制部件以及某些馬達的內(nèi)部元件里去，因為在稀釋過程中產(chǎn)生高溫的情況下，滴到這些部件上的酸或堿會將其零件腐蝕。

★萬一設備出現(xiàn)故障，請馬上關掉設備以使危害減小。

★為使光電感應開關準確工作，需經(jīng)常保持其清潔。

★設備在關機后仍在一定的時間內(nèi)會保留余溫。為避免使設備受到損傷，應該在加熱管關掉5分鐘后才開始排放液體。

★隨時檢查所有線路、管道及螺栓連接處的明顯損傷，發(fā)生明顯的變化時需將情況立即報告給管理者。

★進行維修時，不可忽視設備各部分的安全互鎖，并放好警示標志。

★長時間于工作環(huán)境呼吸以及廢物的蒸汽（例如抗蝕劑蒸汽和溶劑）都會危害人體健康，應經(jīng)常對排氣裝置進行檢查。

★遵守設備所允許的操作溫度(如：聚丙烯(PP) : 90℃)

★所有過濾桶都需要在設備關掉后方可打開。

★設備中塑料元件摩擦溫度(PP, PE, PVDF)可達40℃,防止燙傷。

★設備后面及下面的管道一直都在使用中，只有在經(jīng)過足夠長時間的冷卻后方可接觸。    

2-1“緊急停止”操作介紹

“緊急停止”按鈕位置示意：操作該設備的人員請先仔細閱讀該頁，并熟悉“緊急停止”按鈕在設備上的位置。

該設備上共有若干個緊急停止按鈕。分別在觸摸屏上，設備的中部以及上、下料段等處。如果設備出現(xiàn)故障或報警蜂鳴器響起，要立即按下“緊急停止”項

緊急停止以及再開機使用步驟如下：

1-1蜂鳴器響起，電控柜上的“警報”按鈕燈亮，按下“緊急停止”按鈕。此時設備將停止運轉(zhuǎn)，但程序并不會退出。

1-2即時找出故障并將其排除。

1-3旋轉(zhuǎn)“緊急停止”按鈕使其復位。

1-4按下“電源”開關開動設備。

2-2設備的安全安裝

按提供的設備總圖把設備安裝在指定位置。需提供適當?shù)耐L及操作空間。設備的安裝現(xiàn)場要求通風，對設備保持足夠的正壓，使用前要先打開設備排廢氣系統(tǒng)，生產(chǎn)現(xiàn)場需通風。在設備周圍需有足夠的空間，便于出入、清潔和維修。控制柜的擺放位置要合理，需滿足操作設備時能看到控制柜的控制裝置同時也能在控制裝置處看到設備各項工作情況，這對保證生產(chǎn)線上的工作人員的安全極其重要。注意將電控柜與設備危險區(qū)保持足夠距離（不妨礙操作設備和電源控制）、在未經(jīng)本公司同意時，不得更改控制程序的任何部分。若因生產(chǎn)需要，進行任何機械或電控系統(tǒng)更改時需經(jīng)過本公司授權。

主要清洗對象：

設備結構示意圖